厚度映射系统
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- 厚度映射系统
- KAGAKU
- SF-3AA
- 日本
- 现货
产品详细介绍
製品情報
特 長
- 微細パターンをアライメントし、ウェーハ厚みや各種厚み情報を提供
- 高精度X-Y位置決めステージ（±2μm以下）を実装し、高精度な位置決めを実現
- MEMSやセンサーデバイスなど、6インチウェーハに対応
（Option：8および12インチ対応可能） - ウェーハ形状以外にも対応可能
測定項目
- パターン付きウェーハ
- シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
- テンポラリーウェーハ