厚度映射系统

产品大图
  • 厚度映射系统
  • KAGAKU
  • SF-3Rθ
  • 日本
  • 现货
产品详细介绍

最大12inchウェーハを高速にマッピング可能です。

 

製品情報

特 長
  • 高速にウェーハ面内の厚み情報を提供
  • 多点マッピング測定が可能
  • 最大Φ300mmウェーハの面内厚み測定が可能
  • ウェーハ研削装置やテンポラリーボンダーなど、半導体プロセス装置への
    組込み対応が可能

SF-3RΘ

 

測定項目
  • シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
  • テンポラリーウェーハ