高速分光仪

M-2000高速分光エリプソメーターシリーズは、最新の光学構成を持ち、
広い波長範囲と高速な測定ができます。

M-2000はスピードと正確性、その両方を兼ね備えた、極めて汎用性の
高い装置と言えます。特許取得済のRCE技術が、回転補償子型
エリプソメトリーと、即座に全スペクトル（数百波長）を取得できる、
ワイドアレイ構成の高速CCD検出器との併用を可能にしました。

M-2000シリーズは in-situモニタリング やプロセス制御から、大面積の
均一性マッピング、一般的な薄膜評価まで、すべての評価においてとて
も優れた装置です。

＜主な特徴＞
 特許取得済のRCE技術（Rotating Compensator Ellipsometer）
（回転補償子型エリプソメーター）
RCEの光学構成により、どのような偏光状態でも精度よく測定する
ことができるようになりました。（⊿：0°～360°、ψ：0°～90°）

 高度なRCE技術により、以下の測定が可能です。
偏光解消
異方性
ミューラー行列

 高速測定
S/N比を向上させたCCDを用い、先端的な受光システムにより、
すべての波長を同時に測定することができます。

 柔軟な装置構成
このM-2000はあらゆる応用分野の要求に応えられる、様々な架台や
台座を取り付けられるようになっています。

 データ収集・解析ソフトウェア－WVASE32－
装置付属のソフトウェアWVASE32は装置制御、データ収集、解析の
すべてをこなす、最も包括的なプログラムです。多くの光学モデルが
使用でき、かつ最新の数学を用いたフィッティングアルゴリズムで精
度の良いデータ解析が出来ます。