真空紫外线多入射角分光仪

真空紫外域多入射角分光エリプソメーター
（VUV-VASE）は、リソグラフィー用薄膜の光学
特性評価でもっとも信頼できる検査装置です。

真空紫外（VUV）から近赤外（NIR）までの広い
波長範囲を測定できるため、半導体や誘電体、ポリマーや金属といった単層膜や多層膜、そして液浸用溶液のような液体まで、多くの材料を評価することができます。

短い波長で測定するために、極薄膜の測定感度がとてもよく、リソグラフィーで多く使われる波長(157nm, 193nm, 248nm)で、n と k が測定できます。 

短波長の測定範囲を広げるため、従来の
キセノンランプとフォトダイオード検出器に加えて、 重水素ランプと光電子増倍管（PMT）が装着されました。 これにより、リソグラフィーで有用な193nmの深紫外における信号のノイズに対して信号が増幅されます。