多入射角分光仪

VASEは研究用に最適な分光エリプソメーターと言え
ます。

＜主な仕様＞
広い波長範囲　（190nm-3200nm）
完全に自動化された入射角制御
非接触・非破壊での物質解析

様々なタイプの材料特性を簡単に解析できます。
半導体・誘電体・重合体・金属・多層膜　など...

＜以下のデータ取得が可能です＞
反射および透過エリプソメトリーデータ
反射率と透過率の測定
一般化エリプソメトリー
（異方性・リターダンス・複屈折） 
偏光解消率　（Auto Retarder®が必要です）
異方性の測定　（Auto Retarder®が必要です）
ミューラー行列
スキャッタメトリー

＜VASEオプション＞
 近赤外（NIR）アップグレード
波長範囲（240nm-1100nm）を、 さらにNIR1700nmまで拡張します。

 拡張赤外域ディテクター（XNIR）アップグレード
波長範囲（240nm-1100nm）を、さらに XNIR2500nmや、XXIR3200nmまで拡張します。

 深紫外域（DUV）アップグレード
波長範囲（240nm-1100nm）を、さらにDUV 190nmまで拡張します。

 自動位相調整器Auto Retarder　（V-VASEのみ）

 サンプルヒートステージ
サンプルの縦置き・横置きどちらにも使える高温度ステージです。
室温から300℃までと、-70°から600°まで対応可能です。

 集光ビーム
ビームを直径200ミクロンまで集光します。
集光光学系により波長レンジは、400nmから1100nmまでの波長範囲に限られますが、取り外して
全波長での測定が可能です。

 クライオスタット
サンプルの温度を変えて測定できます。（4.2-700ケルビン）