微粒子计数器

ポンプ内蔵型 リモートパーティクルカウンタ

本器は、ポンプ内蔵型リモートパーティクルカウンタです。吸引量28.3リットル／分のポンプを内蔵しており、小型軽量で、半導体、液晶、精密電子部品、製造装置、医薬品、食品等の製造ラインの清浄度を、常時連続監視を目的としたセンサです。 出力をEthernet、RS485、RS232C、 4-20mAから選択できます。 保証期間3年の長寿命半導体レーザを光源としており、長期間にわたって安定した性能を提供します。

 

 

• 長寿命レーザ光源（3年保証）
• 0．5／5．0μm感度
• 色と点滅による故障状況の判別が可能
• さまざまな出力方式で清浄度モニタリングシステム構築が可能
• 内蔵圧力センサで流量モニタ
• SUS304ステンレス筐体

測定粒子径	0．5/5．0μm（標準2粒径）　0．5/1．0/5．0/10．0μm（オプション4粒径：Ethernetモデル）
サンプル吸引流量	28.3 L/分（1CFM）
同時計数誤差	10％以下（566,000個/28.3L）
	6013/6015： 10％以下(566,000個/28.3L）
流量	自動調整（内蔵圧力センサ）
光源	半導体レーザ
出力	Ethernet、4-20mA、Pulse、RS-232C、RS-485（Modbus RTU or FXB）
LED出力	カウントアラーム、センサフェイル、通信フェイル、流量フェイル
電源	24Vdc（最大50W）、100-240Vac（最大7.9W）
寸法	170（Ｗ）×318（Ｄ）×102（Ｈ）mm （突起部を除く）
重量	4.62 kg
筐体材質	SUS304
動作環境	温度 10～32℃ 湿度 5～90％　相対温度、結露なきこと