微粒子计数器

リモートパーティクルカウンタ

本器は、吸引量28.3リットル／分と大吸引量2.83リットル／分の2タイプを用意しており、小型軽量で、半導体、液晶、精密電子部品、製造装置、医薬品、食品等の製造ラインの清浄度を、常時連続監視を目的としたセンサです。 出力をEthernet、RS485、4-20mA、RS-232C、Pulseから選択できます。 保証期間3年の長寿命半導体レーザを光源としており、長期間にわたって安定した性能を提供します。

 

 

• 長寿命レーザ光源（3年保証）
• 0．3～5．0μm感度、0．5～10．0μm感度
• 色と点滅による故障状況の判別が可能
• さまざまな出力方式で清浄度モニタリングシステム構築が可能

測定粒径	6003/6013：0．3/0．5μm（標準2粒径）　0．3/0．5/1．0/5．0μm（オプション4粒径）
	6005/6015：0．5/5．0μm（標準2粒径）　0．5/1．0/5．0/10．0μm（オプション4粒径）
サンプル吸引量	6003/6005：2.83 L/分（0.1CFM）
	6013/6015：28.3 L/分（1CFM）
同時計数誤差	6003/6005： 10％以下（4,000,000個/28.3L）
	6013/6015： 10％以下(566,000個/28.3L）
流量調整	クリティカルオリフィス（-0.051MPa=-380mmHg以上の真空源）
光源	半導体レーザ
出力	Ethernet、4-20mA、Pulse、RS-232C、RS-485（Modbus RTU or FXB）
電源	9-28Vdc
寸法	135.6（Ｗ）×89.3（Ｄ）×120.6（Ｈ）mm （突起部を除く）
重量	約0.82 kg
動作環境	温度 10～32℃ 湿度 5～90％　相対温度、結露なきこと
保管環境	温度 －40～70℃ 湿度 5～98％　相対温度、結露なきこと
オプション	4粒径オプション、温湿度プローブ