GFA430UHV均温热处理装置

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  • GFA430UHV均温热处理装置
  • KAGAKU
  • GFA430UHV
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产品详细介绍

    

   
  優れた均温特性を持つ管状炉です。
炉長の約7割が均一な温度になりますので、大きな試料や複数の試料を同時に処理できます。
試料に合わせてホルダーをカスタマイズできます。(オプション)
   
   
 
優れた均温特性
真空、大気、ガスフロー等各種加熱条件に対応。(超高真空モデルもあります。)
昇降温速度が早い
 
 
 
 
 
   
 
シリコンウエハー、セラミックス、圧電材料等の熱処理
加熱中電気抵抗測定
CVD装置
カーボンナノチューブの作成
粉体試料の加熱
大型生産炉の加熱条件確認
鉄鋼材、金属材料の焼鈍
昇温中試料への紫外光照射
単結晶の生成
   
   
  均温熱処理装置には、炉の大きさにより下記のモデルがあります。
   
 
モデル名 GFC650V GFA430VN GFA430UHV GFB450
 最高到達温度 1000℃
 常 用 温 度 900℃
 均 温 容積(mm) 約φ55×300 約φ36×200 約φ36×350
 昇 温 速 度 室温から1000℃まで30min 
 降 温 速 度 1000℃から100℃まで約1H (強制空冷で約30min)
 最大到達真空度 5×10-4Pa 5×10-6Pa  5×10-4Pa
 電  力 3kW  1.5kW 2kW
 冷却水量 1L/min 不要 1L/min