太阳能电池

T-Solar^TM エリプソメーターは、テクスチャー構造を
もつサンプルの測定に適した装置です。
すでに確立された装置である回転補償子型分光
エリプソメーター（M-2000）に基づき、T-Solarは
紫外から可視光、近赤外までの範囲の数百波長
での測定が可能です。

表面が粗く、テクスチャー構造をもつサンプルは、
反射光の強度が非常に小さいため、T-Solarは
そのようなサンプルに対する性能を向上すべく、
高出力の光源と新しいIntensity-Optimizer*
（測定光強度最適化装置）を組み込みました。

T-SolarはエッチングされたSi基板表面上の反射
防止コーティング膜を測定・解析するのに高い性能
を示しています。
さらに傾きと回転を調整するステージが備わって
います。このステージはアルカリエッチングされた
多結晶基板のピラミッド構造をもつ表面にあわせて
サンプルを調整するのに大変便利です。^-1